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微位移倾角平台

我们的微位移纳米平台具有位置精度高，刚性高，结构紧凑，体积小重量轻，响应快，惯量小，自动锁定，无伺服抖动现象等特点。电机没有摩擦部件，运动时无背隙、无摩擦、无磨损和消耗，超低耗电。它没有磁性且不产生磁辐射，也不受外部磁场干扰，可用于真空和无尘室以及潮湿、干扰大、振动大等恶劣环境，并可超高温和超低温工作，使用寿命长，免维护。部分产品内置气动平衡装置，可适于大负载应用。

典型应用领域：
生物生命科学、药物医学、光学、光电、光纤、测量测试、半导体、微电子、高精密机械和机床、数据存储等。

具体应用设备：
光电显微镜，自动聚焦，显微定位，微米纳米计量尺，LCD等显示平板的生产测试检查，晶片检查定位，消除振动系统，大容量数据磁盘，微型产品的生产加工装配测试，天文观测仪器，自适应光学系统，光纤排列，微型扫描仪，基因处理，显微操作分配，细胞穿透，微型手术，激光调整，光学镜面调整，图像稳定，磨损修正，微型阀/泵，微雕刻。

       

微位移倾角平台  纳米倾角平台

型号

驱动方式

轴数

倾角范围

细调角度范围(m rad)

最高角精度(μrad)

最高速度(°/sec)

最大力矩(Nm)

负重(kg)

NIT287

压电

1

12 mrad

-

0.2

-

-

8

NIT041

手动/伺服/压电

1

9°

1.4

0.5

4.5

0.75

5

NIT042

手动/伺服/压电

2

9°

1.4

0.5

4.5

0.75

5

微位移升降平台  纳米升降平台

型号

驱动方式

长*宽*高
(mm)

行程(mm)

最大分辨率
(nm)

最高位置精度
(μm)

最高速度
(mm/sec)

最大角偏度
(arc-sec)

负重
(kg)

NZT-4V 直线电机
直接驱动 		118*90*53 4 2 0.05 50 10 4
NZT-100 伺服电机 290*200*89 6/13/25 5.3 1 50 10 25
NZT-105 伺服/步进 216*117*68 5 100 　 5 25 10
NZT-125 直线电机
直接驱动 		150*130*111 25 9 0.1 100 　 7
NZT-1000 直线电机
直接驱动 		359*359*101 2 0.5 0.25 5 3-6 50

经济型手动升降平台

型号 平台尺寸(mm) 运动范围(mm) 最小刻度
(μm)		 垂直度 负重(kg)
NZT05M 50 × 50 ± 3.25 0.5/5/10 2-7μm/6.5mm 2
NZT07M 70 × 70 ± 3 0.25 4μm/6mm 3
NZT07M-S 70 × 70 ± 12.5 10 10-15μm/25mm 5-10
NZT07M-C 70 × 70 ± 1.5 0.125 3μm/3mm 5
NZT10M 100 × 100 ± 2.5
± 1.5		 10
0.125		 5μm/5mm
3μm/3mm		 7
NZT10M-X 100 × 100 ± 12.5 10 8μm/25mm 4

经济型步进驱动升降平台

型号 平台尺寸(mm) 运动范围(mm) 导程(mm) 分辨率
（μm/步)
整步方式		 最高速度
(mm/sec)		 重复精度
(μm)		 垂直度 负重(kg)
NZT05A 50 × 50 ± 2.5 0.5 0.5 2.5 0.5 7μm/5mm 1
NZT07A 70 × 70 ± 12.5
± 7.5
± 4		 0.5
1.0
1.0		 0.5 2.5 0.5 8μm/25mm
8μm/15mm
5μm/8mm		 5-10
NZT07A-S 70 × 70 ± 2.5 1.0 0.25 1.25 0.5 5μm/5mm 5
NZT10A 100 × 100 ± 5
± 7		 0.4
1.0		 0.2
0.5		 1
2.5		 0.5 5μm/10mm
5μm/14mm		 5
10
NZT10A-X 100 × 100 ± 2.5 1.0 0.25 1.25 0.5 5μm/5mm 7

经济型手动倾角平台

型号 平台尺寸(mm) 运动范围(°) 旋转中心(mm) 转动中心间隙 最小刻度(°) 负重(kg)
NIT03 30 × 30 ± 10 30-44 φ0.1-0.2mm/±10° 0.1 1
NIT04 40 × 40 ± 10 40-57 φ0.05-0.2mm/±10° 0.1 2
NIT05 50 × 50 ± 8/10
± 3		 50-86 φ0.05-0.2mm/±8°-10°
φ0.05-0.1mm/±3°		 0.1
最小移动量：0.006		 3
NIT05-D 50 × 50 ± 8/10
± 3		 50-86 φ0.05-0.2mm/±8°-10°
φ0.05-0.1mm/±3°		 粗调0.0098,微调0.0004 3
NIT07 70 × 70 ± 8/10
± 3		 70-122 φ0.05-0.1mm/±3°-10° 粗调0.007,微调0.0003 5
NIT10 100 × 100 ± 8/10 95-134 φ0.05-0.1mm/±8°-10° 0.1 5-7
NIT13 130 × 130 ± 10 120-173 φ0.05-0.1mm/±10° 0.1 6-10
NIT16 160 × 160 ± 10 220-280 φ0.5-1mm/±10° 0.1 15-20

经济型手动微调倾角平台

型号 平台尺寸(mm) 运动范围(°) 旋转中心(mm) 转动中心间隙 最小刻度(°) 负重(kg)
NIT05S1 50 × 50 ± 3 50/68/86 φ0.05-0.1mm/±3° 0.1；最小移动量：0.006 3
NIT05S3 50 × 50 ± 3 50/68/86 φ0.05-0.1mm/±3° 粗调0.0075，微调0.0004 3
NIT07S1 70 × 70 ± 3 70/96/122 φ0.05-0.1mm/±3° 0.1；最小移动量：0.0043 5
NIT07S3 70 × 70 ± 3 70/96 φ0.05-0.1mm/±3° 粗调0.007，微调0.0003 5

经济型步进驱动倾角平台

型号 平台尺寸(mm) 运动范围(°) 旋转中心(mm) 转动中心间隙 最高速度
(°/sec)		 分辨率
（°/步)
整步方式		 背隙(°) 负重
(kg)
NIT04A 40 × 40 ± 10 50/57/40 φ0.05-0.1mm/±10° 9.9-13.4 0.00198-0.00269 0.003 2
NIT05A 50 × 50 ± 8-10 50/68/86 φ0.05-0.1mm/±8/10° 4.8-7.8 0.00097-0.00155 0.003 2-3
NIT07A 70 × 70 ± 8-10 70/96/122 φ0.05-0.1mm/±8/10° 4.8-7.7 0.00096-0.00153 0.003 4-5
NIT10A 100 × 100 ± 8-10 95/134/172 φ0.05-0.1mm/±8/10° 6.7-11.3 0.00134-0.00225 0.003 4-7
NIT13A 130 × 130 ± 10 120/173 φ0.05-0.1mm/±10° 9-12.5 0.0018-0.0025 0.003 6-10
NIT16A 160 × 160 ± 10 220/280 φ0.5-1mm/±10° 6-7.1 0.0012-0.0014 0.003 14-20

注：本产品为全套原装进口产品，并配套提供驱动控制器，具体资料请联系我们。  

　

　

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