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显微操作多轴平台

 

我们的精密操作定位平台具有以下特点:微米级或亚纳米级位置精度体积小重量轻,推力大>10000N),响应极快惯量小加速度可达5G自动锁定无伺服抖动现象。

典型应用领域:
生物生命科学、药物医学、光学、光电、光纤、测量测试、半导体、微电子、高精密机械和机床、数据存储等。

具体应用设备:

光电显微镜,自动聚焦,显微定位,微米纳米计量尺,
LCD等显示平板的生产测试检查,晶片检查定位,消除振动系统,大容量数据磁盘,微型产品的生产加工装配测试,天文观测仪器,自适应光学系统,光纤排列,微型扫描仪,基因处理,显微操作分配,细胞穿透,微型手术,激光调整,光学镜面调整,图像稳定,磨损修正,微型阀/泵,微雕刻。

显微操作多轴平台  超精密定位平台

型号

驱动方式

最大位移
(mm)

最高位移精度
(μm)

最高速度
(mm/sec)

X最大推力
(N)

Y最大推力
(N)

Z最大推力
(N)

最大水平负重
(Kg)

NXST50 步进电机 50 2.5 3       5
NXST300 伺服电机 50 2.5 4       25
NXST100 伺服/步进 200 0.5 100       25
NXST125 伺服电机 600 6 600       45
NXST150 伺服电机 250 1 230       45
NXST1000 伺服电机 300 1 400       70
NXST1500 伺服电机 300 1 180       135
NXST2000 伺服电机 300 1 280       80
NXST3600 伺服电机 400 1 200       90
NXST5000 伺服电机 1000 1 300       135
NXST6200 伺服电机 1500 1 1500       90
NXLT130

直线电机

200 0.3 300 43/173     12
NXLT1000

直线电机

450 1 750 73/458     50
NXLT3600 直线电机 400 2 300 48/190     90
NXLT5000 直线电机 1000 1 2000 276/1106     135
NXLT20000 直线电机 600 1 2000 168/637     70

NXST63

伺服电机

25

1

5

20

20

20

 

NXST181

伺服电机

60

1

10

30

30

50

 

NXPT84

压电电机

100

0.3

250

15

15

15

 

NXPT105

压电电机

50

0.3

250

15

30

50

 

NXPT180

压电电机

100

0.3

200

15

30

50

 

注1本产品为全套原装进口产品,并配套提供驱动控制器,具体资料请您根据需要初步选型后联系我们

注2:本系列平台可以组合叠加成XY, XYZ等多轴精密工作台,如有特殊要求也可以定制  


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